Quang khắc là gì?
Quang khắc là một trong những quy trình quan trọng trong sản xuất mạch tích hợp (IC hoặc chip). Nói một cách đơn giản, đó là quá trình sao chép mẫu mạch trên đế bằng cách sử dụng mặt nạ quang và chất quang dẫn.
Bề mặt sẽ được sơn lên lớp cách điện silicon dioxide và chất quang dẫn. Chất quang dẫn có thể được hòa tan dễ dàng bằng chất hiện hình sau khi tiếp xúc với tia UV, sau khi hòa tan và ăn mòn, mạch điện sẽ được để lại trên đế.
Photoresist là gì? Tại sao phải chặn bước sóng UV 500nm?
Chất quang dẫn được kết hợp với nhựa, dung môi và phụ gia. Phạm vi nhạy sáng của chất quang dẫn là 200nm{1}}nm. Do đó, nhiều phòng thí nghiệm chất bán dẫn sẽ sử dụng ánh sáng vàng để chặn bước sóng UV 500nm để ngăn chặn các tình huống tiếp xúc quá mức hoặc tiếp xúc sớm với chất quang dẫn.
